ASTM F847-02
ASTM F847-02
- 标准号
- ASTM F847-02
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F847-02
- 引用标准
- ASTM E122 ASTM E82 ASTM F26
- 1.1 这些测试方法涵盖了 a 的测定，即垂直于圆形硅片上基准平面的方向的晶体取向与晶片表面平面中平面的指定取向之间的角度偏差。 1.2 这些测试方法适用于平面长度值在 SEMI 规范 M 1 中为硅晶圆规定的范围内的晶圆。它们仅适用于角度偏差小于 65° 的晶圆。 1.3 这些测试方法所达到的定向精度直接取决于平坦表面与参考围栏对准的精度以及参考围栏相对于...