DB53/T 500-2013
多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法

Determination of trichlorosilane component content for polysilicon by gas chromatography

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标准号

DB53/T 500-2013

发布

2013年

发布单位

云南省地方标准

当前最新

DB53/T 500-2013

 

 

适用范围

本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定。测定范围: SiH2Cl2 ＞0.01%，SiCl4＞0.01%，HCl＞0.01%。

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