KS I ISO 14644-4-2007(2017)
洁净室和相关受控环境4 部分:设计建设和启动

Cleanrooms and associated controlled environments－Part 4：Design, construction and start-up

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标准号: KS I ISO 14644-4-2007(2017)
发布: 2007年
发布单位: 韩国科技标准局
替代标准: KS I ISO 14644-4-2007(2022)
当前最新: KS I ISO 14644-4-2007(2022)

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