DS/EN ISO 14644-4:2001
洁净室和相关的受控环境 第4部分：设计、建造和启动

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 4: Design, construction and start-up

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标准号

DS/EN ISO 14644-4:2001

发布

2001年

发布单位

丹麦标准化协会

当前最新

DS/EN ISO 14644-4:2001

 

 

适用范围

本标准规定了洁净室装置的设计和施工要求，但没有规定满足要求的具体技术或合同手段。它供洁净室安装的购买者、供应商和设计者使用，并提供重要性能参数的清单。提供施工指导，包括启动和资格认证的要求。通过考虑运行和维护的相关方面来确定确保持续令人满意的运行所需的设计和施工的基本要素。

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