GB/T 40577-2021
集成电路制造设备术语
Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
GBT40577-2021, GB40577-2021
说明：
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- 标准号
- GB/T 40577-2021
- 别名
- GBT40577-2021
GB40577-2021 - 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 40577-2021
- 适用范围
- 本文件规定了集成电路(IC)制造设备的基本和常用术语,包括基础术语,晶体生长加工设备、掩模制造设备、光刻与刻蚀设备、掺杂设备、薄膜淀积设备、清洗设备、封装设备、检测设备的术语及公用部件术语。 本文件适用于集成电路制造设备的设计开发、生产和应用,也适用于集成电路制造设备的科研、教学和出版工作。