GB/T 40577-2021
集成电路制造设备术语
Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
GBT40577-2021, GB40577-2021
GB/T 40577-2021 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 40577-2021
- 别名
- GBT40577-2021
GB40577-2021 - 发布
- 2021年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 40577-2021
- 本文件规定了集成电路(IC)制造设备的基本和常用术语,包括基础术语,晶体生长加工设备、掩模制造设备、光刻与刻蚀设备、掺杂设备、薄膜淀积设备、清洗设备、封装设备、检测设备的术语及公用部件术语。 本文件适用于集成电路制造设备的设计开发、生产和应用,也适用于集成电路制造设备的科研、教学和出版工作。
GB/T 40577-2021相似标准
GB/T 40577-2021 中可能用到的仪器设备
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透射电镜TEM
金属多元素分析仪
旋光仪
扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM
液质联用仪
X荧光光谱/XRF（能量色散型X荧光光谱仪）
扫描电镜SEM
光学成像-CCD相机
工业显微镜/工具显微镜
高光谱仪/高光谱成像仪
石英晶体天平
腐蚀测试仪
激光器
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光学位移台
场流分离仪
椭偏仪
光纤光谱仪
电镜制样设备
光学平台
红外光谱仪
制备液相/层析纯化
气相色谱仪GC
电镜附件及外设
电化学部件
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材料/金相显微镜
磁力/磁场成像显微镜
电化学工作站
打标/雕刻/喷码/喷墨/刻印机
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高压吸附仪
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化学吸附仪
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原子层沉积系统（ALD）
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半导体专用检测仪器设备
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危险气体检测
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