光学真空腔体洁净度检测规范, 您可以免费下载预览页
1旋片式真空泵+罗茨泵 旋片式真空泵加上罗茨泵组成的泵组又可以称为油式泵组,这种泵组是我们真空等离子清洗机中常见的一种泵组,它是由旋片式真空泵作为底泵,外加罗茨泵作为次级泵组合而成的泵组。这类泵组一般运用于对洁净度要求不是很高且腔体较大的真空等离子清洗机上。 ...
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