GB/T 25915.13-2022
洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications

GBT25915.13-2022, GB25915.13-2022

标准号

GB/T 25915.13-2022

别名

GBT25915.13-2022, GB25915.13-2022

发布

2022年

采用标准

ISO 14644-13:2017 IDT

发布单位

国家质检总局

当前最新

GB/T 25915.13-2022

 

 

引用标准

ISO 14644-8 ISO 14644-9

适用范围

本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。 本文件中的表面涉及所有表面(外表面、内表面)。 本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度(SCP)和表面化学洁净度的化学物浓度(SCC)洁净度的所需清洁方法,以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。ISO14644.9 和ISO14644.10 给出了清洁技术的适宜率和相关检测方法。 本文件包含以下一般性指南: ———表面目标洁净度等级; ———清洁方法的适用性; ———表面与清洁技术的相容性; ———清洁方法适宜度的评估。 本文件不包含以下事项: ———清洁方法的分类; ———洁净室内生产的产品; ———与特定表面相关的具体清洁方法; ———各种清洁方法的清洁机制、具体方法和规程的详细说明; ———材料特性的详细说明; ———清洁工序和清洁时间对表面破坏的机制; ———污染物与表面间的黏附力,以及通常与时间和工艺相关的黏附过程; ———粒子的其他特性,如静电、离子等; ———分子污染物与表面的化学反应; ———表面微生物; ———放射性污染; ———健康、安全; ———环境因素,如:废物处理、排放等; ———统计方法的选用。

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