T/ICMTIA ESG0016-2022
集成电路用气体 乙硅烷

Gas disilane for integrated circuits


 

 

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 T/ICMTIA ESG0016-2022 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，
点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

 

标准号
T/ICMTIA ESG0016-2022
发布
2022年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ICMTIA ESG0016-2022
 
 
适用范围
本文件规定了集成电路用乙硅烷的技术要求、检测方法、标志、包装与运储运安全的要求。 本文件适用于用硅化镁法（小松法）制备的乙硅烷。主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅膜、多晶硅膜等的气相沉积工艺中。其他工艺参照本文件执行。

T/ICMTIA ESG0016-2022相似标准

T/ICMTIA BS0030-2022 集成电路材料产品分类 T/ICMTIA 3-2020 集成电路用六氯乙硅烷 T/ICMTIA ESG0020-2022 集成电路用气体 锗烷 DB11/T 2080-2023 建设项目环境影响评价技术指南 集成电路制造 T/ICMTIA ESG0019-2022 集成电路用气体 二氟甲烷

推荐

氦离子气相色谱仪检测硅烷类气体纯度

电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件，化合物半导体器件，太阳能电池，光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。 　　硅烷，即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更的硅氢化合物，是一种气体源，也可用于制造各种高纯度金属硅化物。...


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号