T/ICMTIA 3-2020
集成电路用六氯乙硅烷

Hexachlorodisilane for integrated circuit


 

 

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标准号
T/ICMTIA 3-2020
发布
2020年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ICMTIA 3-2020
 
 
适用范围
本标准规定了集成电路用六氯乙硅烷的技术要求,检测方法,包装与运输及安全的要求。其中,检测方法涵盖抽样和判定原则、组分的测定和杂质元素含量的测定等内容。

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