GSO ISO 18114:2013
表面化学分析二次离子质谱离子标准物质相对灵敏度因子的测定

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

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标准号: GSO ISO 18114:2013
发布: 2013年
发布单位: GSO
当前最新: GSO ISO 18114:2013

This International Standard specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials....

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