GSO ISO 18114:2013
表面化学分析 二次离子质谱 离子标准物质相对灵敏度因子的测定

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

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标准号

GSO ISO 18114:2013

发布

2013年

发布单位

GSO

当前最新

GSO ISO 18114:2013

 

 

适用范围

This International Standard specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials. The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.

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