DB53/T 618-2014
气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量

 

 

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 DB53/T 618-2014 前三页，或者稍后再访问。

如果您需要购买此标准的全文，请联系： 。

点击下载后，生成下载文件时间比较长，请耐心等待......

 

标准号
DB53/T 618-2014
发布
2014年
发布单位
云南省地方标准
当前最新
DB53/T 618-2014
 
 
适用范围
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量测定的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告。 本标准适用于氢化尾气中氢气(H2)、氯化氢(HCl)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、三氯氢硅(SiHCl3)和四氯化硅(SiCl4)含量的测定.

DB53/T 618-2014相似标准

YS/T 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法 DB53/T 747-2016 多晶硅生产回收氢气中氯化氢含量的测定 气相色谱法 DB15/T 1241-2017 硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法 T/CNIA 0060-2020 多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法 DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法

推荐

【虹润冠名】669项行业标准批准发布 多项与仪器检测分析方法相关

2021-04-0156 YS/T 1392-2020氯硅烷组分含量的测定  气相色谱法    本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。    本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。...

【华恒仪表冠名】430项行业标准报批公示 含多项仪器检测标准

56 YS/T 1392-2020氯硅烷组分含量的测定  气相色谱法    本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。    本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。...

目录│2015年第1期

雷知生，曹珺，刘坚，等（23）凝胶排阻色谱法测定中空纤维超滤膜组件对聚乙二醇的截留率 于小焱，张晓慧，庞永超（28）HPLC–ICP–MS法测定农田土壤中甲基汞和乙基汞 宋志峰，陈冠宁，魏春雁，等（33）HPLC–ICP–MS法测定地表水体中砷的形态 杨正标，陆喜红，任兰，等（37）气相色谱法检测 M15甲醇汽油燃料尾气排放中甲醛的含量 孙喜荣，李域，于得水（40）ICP–OES法检测玩具涂层中...

DB53/T 618-2014 中可能用到的仪器设备

气相色谱仪GC


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号