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光学轮廓仪一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。 ...
光学轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。 ...
如上图A所示,为了衡量基于DHTM的体积测量的准确性,研究小组采用0.5um、0.75um、2um、4um的聚苯乙烯珠球进行了评估。聚苯乙烯珠球成像后的体积测算,采用两种不同的分析方法,Nanolive 3D CX 系统配套软件STEVE,是以像素为基础的方法;第三方三维图像分析软件Imaris,基于对象的的三维切面分割方法。...
与传统的基于正弦条纹的结构光编码算法相比,该方法具有更好的鲁棒性和精度保持特性,可以直接用于金属等反光表面的高精度三维扫描。 为了降低系统成本,研究人员采用了低成本的微型投影和工业相机模块。该系统可在1秒钟内完成130万点云的获取与处理,扫描范围为60×50毫米时,测量精度可达1.4微米,无论从稳定性和重建精度方面均领先于现有的3D扫描技术。 ...
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