ASTM F1388-92(2000)
ASTM F1388-92(2000)
- 标准号
- ASTM F1388-92(2000)
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 当前最新
- ASTM F1388-92(2000)
- 引用标准
- ASTM F1153 ASTM F1241
- 1.1 本测试方法涵盖硅片的生成寿命和生成速度的测量。 1.2 测量需要制作保护环 MOS（金属-氧化物-硅）电容器。因此，该测试方法对硅晶片具有破坏性。 1.3 本试验也可适用于硅以外的半导体材料和二氧化硅以外的绝缘体，但本试验方法中没有给出这种情况下电容器制造的细节以及数据的分析和解释。 1.4 掺杂范围为1013至10 17 cm−3的p型和n型硅均可...