T/CEMIA 023-2021
半导体单晶硅生长用石英坩埚
Quartz crucible forsemiconductor monosilicon growth
T/CEMIA 023-2021 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- T/CEMIA 023-2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CEMIA 023-2021
- 本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义， 并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。 本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长用石英坩埚。
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