T/ZGM 013-2023
半导体行业超纯水制备用电去离子膜堆产品认证技术要求

Technical specifications of electrodeionization stacks products certification for ultrapure water in semiconductors industry

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标准号: T/ZGM 013-2023
发布: 2023年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/ZGM 013-2023

适用范围: 本标准规定了半导体行业超纯水制备用的电去离子膜堆组件认证的技术要求、试验方法。

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