T/ZGM 014-2023
半导体行业超纯水制备用脱气膜组件产品认证技术要求

Technical specifications of degasification membrane products certification for ultrapure water in the semiconductor industry


 

 

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标准号
T/ZGM 014-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ZGM 014-2023
 
 
适用范围
本标准规定了半导体行业超纯水制备用脱气膜元件认证的技术要求、试验方法。本标准适用于半导体行业超纯水制备用脱气膜元件。规范了脱气膜产品的尺寸、性能、材质、洁净度要求及试验方法。

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