T/CASAS 025-2023
8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

8-inch silicon carbide wafer reference marking and dimensions

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标准号

T/CASAS 025-2023

发布

2023年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/CASAS 025-2023

 

 

适用范围

本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。 本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。 注：　碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底。

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