T/IAWBS 016-2022
碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法
X-ray double crystal rocking curve FWHM test method for silicon carbide single wafer
- 标准号
- T/IAWBS 016-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/IAWBS 016-2022
- 适用范围
- 本文件根据碳化硅单晶的材料性能特点，并结合目前国内碳化硅晶体质量检测技术的研究水平，对碳化硅单晶摇摆曲线的测量原理、测量精度保障、测量步骤等内容作出了规定。本文件的主要结构和内容如下： 本文件主题章共分为9章，主要内容包括：范围、 规范性引用文件、术语和定义、测试原理、测试仪器、干扰因素，测试环境、测试样品、测试程序、精密度、测试报告和附录。