ASTM F1394-92(2020)
用于确定气体分配系统阀颗粒贡献的标准测试方法
Standard Test Method for Determination of Particle Contribution from Gas Distribution System Valves
- 标准号
- ASTM F1394-92(2020)
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM F1394-92(2020)
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖用于安装到高纯度气体分配系统中的气体分配系统组件。
1.1.1 本测试方法描述了一个程序，旨在对在恶劣条件下测试的阀门的颗粒产生性能进行统计上的显着比较。
1.1.2 本测试方法并非旨在作为特定阀门测试后监测持续颗粒性能的方法。
1.2 本测试方法采用凝核计数器 (CNC)，该计数器适用于半导体应用中通常使用的直列燃气阀。它适用于各种类型的自动和手动阀门（例如隔膜或波纹管），尺寸为 6.3 至 12.7 毫米（1⁄4 至 1⁄2 英寸）。有关此测试方法在较大阀门上的应用，请参阅附录中的表格。
1.2.1 大于 12.7 毫米（1⁄2 英寸）的阀门可以通过此方法进行测试。测试台的尺寸必须相应确定。大于 12.7 毫米（1⁄2 英寸）的组件应在保持雷诺数为 20 000 至 21 000 的情况下进行测试。这是在速度为 12.7 毫米（1⁄2 英寸）时测试的组件的雷诺数。 30.5 m/s（100 英尺/秒）。
1.3 局限性：
1.3.1 本测试方法适用于总粒子数大于凝聚核粒子计数器最低检出限（MDL）的情况，不考虑将数据划分为各种尺寸范围。
1.3.1.1 能否从非动态部件（例如配件和短管）生成重要数据，并与短管生成的数据进行比较（具有统计显着性），这是值得怀疑的。因此，该测试方法无法可靠地支持这些类型的组件之间的比较。
1.3.1.2 如果对激光粒子计数器（LPC）技术尺寸范围内的粒子检测或分类或两者感兴趣，则可以利用 LPC 来测试组件。本测试方法中概述的流速、测试时间、采样装置和数据分析不适用于 LPC。由于这些差异，CNC 的数据与 LPC 的数据不可比较。
1.3.2 本测试方法规定了超出典型值的流动和机械应力条件。这些条件不应超过制造商推荐的条件。正常操作条件下的实际性能可能会有所不同。
1.3.3 试验方法仅限于氮气或清洁干燥空气。对于其他气体的性能可能会有所不同。
1.3.4 本测试方法适合具有相当于六个月经验水平的设备使用理解的操作员使用。
1.3.5 使用本测试方法时，应查阅相应的颗粒计数器制造商的操作和维护手册。
1.4 以 SI 单位表示的数值应被视为标准。括号中给出的英寸-磅单位仅供参考。
1.5 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任建立适当的安全、健康和环境实践，并在使用前确定监管限制的适用性。具体危险说明见第 6 节“危险”。
1.6 本国际标准是根据《1 本测试方法原则决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。 1 本测试方法由 ASTM 电子委员会 F01 管辖，并由污染控制小组委员会 F01.10 直接负责。当前版本于 2020 年 4 月 15 日批准。2020 年 5 月发布。最初于 1992 年批准。上一版本于 2012 年批准，名称为 F1394–92(2012)。 DOI：10.1520/F1394-92R20。版权所有 © ASTM International，100 Barr Harbor Drive，PO Box C700，West Conshohocken，PA 19428-2959。美国 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒（TBT）委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。 世界贸易组织贸易技术壁垒（TBT）委员会发布的国际标准、指南和建议的制定。