ASTM E1162-06
二次离子质谱法（SIMS）中溅射深度剖面数据报告的标准实施规程

Standard Practice for Reporting Sputter Depth Profile Data in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)

ASTM E1162-06 发布历史

ASTM E1162-06由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2006-11-01。

ASTM E1162-06在国际标准分类中归属于: 71.040.50 物理化学分析方法。

ASTM E1162-06的历代版本如下：

• 2006年11月01日 ASTM E1162-06 二次离子质谱法（SIMS）中溅射深度剖面数据报告的标准实施规程
• 2011年11月01日 ASTM E1162-11 二次离子质谱法（SIMS）中溅射深度剖面数据报告的标准实施规程
• 2019年11月01日 ASTM E1162-11(2019) 二次离子质谱法（SIMS）中溅射深度剖面数据报告的标准实施规程
• 1987年 ASTM E1162-1987(1996) 二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据
• 1987年 ASTM E1162-1987(2001) 二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据
• 2006年 ASTM E1162-2006 报告次级离子质谱法(SIMS)中溅射深度截面数据的标准实施规程
• 2011年 ASTM E1162-2011 报告次级离子质谱分析法(SIMS)中溅深深度文件数据的标准操作规程
• 1987年04月24日 ASTM E1162-87(1996) 二次离子质谱法（SIMS）中溅射深度剖面数据报告的标准实施规程
• 1987年04月24日 ASTM E1162-87(2001) 二次离子质谱法（SIMS）中溅射深度剖面数据报告的标准实施规程

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标准号

ASTM E1162-06

发布日期

2006年11月01日

实施日期

废止日期

无

国际标准分类号

71.040.50

发布单位

US-ASTM