DB53/T 499-2013
多晶硅用三氯氢硅

Trichlorosilane for polysilicon


 

 

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标准号
DB53/T 499-2013
发布
2013年
发布单位
云南省地方标准
当前最新
DB53/T 499-2013
 
 
适用范围
本标准规定了多晶硅用三氯氢硅的要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存等内容。本标准适用于改良西门子法生产的多晶硅用三氯氢硅。

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