T/CAMS 179-2023
硅片切片机用高速高精主轴

High speed and high precision spindle for silicon slicer

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 T/CAMS 179-2023 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，
点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

标准号

T/CAMS 179-2023

发布

2023年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/CAMS 179-2023

 

 

适用范围

本文件规定了硅片切片机用高速高精主轴的术语与定义、分类、外形、安装及标识、技术要求、试验方法、几何精度检验、检验规则、标志、包装与贮存。

T/CAMS 179-2023相似标准