GB/T 14140-2009
硅片直径测量方法

Test method for measuring diameter of semiconductor wafer


标准号
GB/T 14140-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
废止日期
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
发布单位
CN-GB
引用标准
GB/T 2828.1-2003 GB/T 6093-2001 GB/T 12964-2003
被代替标准
GB/T 14140.1-1993 GB/T 14140.2-1993
适用范围
本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 本标准适用于测量圆形硅片的直径,可测最大直径为 ∮300mm。不适用于测量硅片的不圆度。

GB/T 14140-2009 中可能用到的仪器设备


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