ASTM F980M-96
硅半导体器件中子诱导位移损伤快速退火的测量标准指南[公制]

Standard Guide for Measurement of Rapid Annealing of Neutron-Induced Displacement Damage in Silicon Semiconductor Devices [Metric]

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标准号

ASTM F980M-96

发布日期

1996年01月01日

实施日期

废止日期

无

国际标准分类号

29.045

发布单位

US-ASTM