ASTM F980M-96
硅半导体器件中子诱导位移损伤快速退火的测量标准指南[公制]

Standard Guide for Measurement of Rapid Annealing of Neutron-Induced Displacement Damage in Silicon Semiconductor Devices [Metric]

ASTM F980M-96 发布历史

ASTM F980M-96由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 1996-01-01。

ASTM F980M-96在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

ASTM F980M-96的历代版本如下：

• 1996年 ASTM F980M-1996 测量硅半导体器件中中子感应位移故障的快速退火用标准指南(米制单位)
• 1996年 ASTM F980M-1996(2003) 测量硅半导体器件中中子感应位移故障的快速退火用标准指南(米制单位)
• 1996年01月01日 ASTM F980M-96 硅半导体器件中子诱导位移损伤快速退火的测量标准指南[公制]
• 1996年06月10日 ASTM F980M-96(2003) 硅半导体器件中子诱导位移损伤快速退火的测量标准指南[公制]

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标准号

ASTM F980M-96

发布日期

1996年01月01日

实施日期

废止日期

无

国际标准分类号

29.045

发布单位

US-ASTM