EN 62047-11:2013
半导体器件-微机电设备-第11部分:微机电系统用独立材料的线性热膨胀系数的测试方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems


 

 

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标准号
EN 62047-11:2013
发布
2013年
发布单位
欧洲电工标准化委员会
当前最新
EN 62047-11:2013
 
 
适用范围
IEC 62047-11:2013规定了测量长度在0之间的薄型自支撑固体(金属、陶瓷、聚合物等)微机电系统(MEMS)材料的线性热膨胀系数(CLTE)的测试方法,1毫米和1毫米,宽度在10微米到1毫米之间,厚度在0.1微米到1毫米之间,是MEMS、微机械等使用的主要结构材料。该测试方法适用于室温至材料熔化温度30%的温度范围内的CLTE测量。

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