GSO IEC 62374:2014
半导体器件 栅极电介质薄层的瞬态电介质击穿 (TDDB) 测试

Semiconductor devices - Time dependent dielectric breakdown (TDDB) test for gate dielectric films


 

 

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标准号
GSO IEC 62374:2014
发布
2014年
发布单位
GSO
当前最新
GSO IEC 62374:2014
 
 
适用范围
This International Standard provides a test method of Time Dependent Dielectric Breakdown (TDDB) for gate dielectric films on semiconductor devices and a product lifetime estimation method of TDDB failure.

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