T/TCCT 001-2022
激光精密加工设备检验检测规范
Checking Standards for Laser Micromachining Equipment
- 标准号
- T/TCCT 001-2022
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/TCCT 001-2022
- 适用范围
- 项目 单位 要求
光斑直径 百分比 偏差在标称值±10%之内
光斑圆度 百分比 >标称值
发散角 毫弧度mrad <2.0mrad(Full Angle)
光束指向稳定性 每分钟或每摄氏度（Per Minute/ Per ℃ ） <50.0urad
光束质量M2 百分比 偏差在标称值±10%之内 脉冲能量非稳定度 均方差rms <2%
脉宽 百分比 在标称值50%-100%之间 偏振比 激光通过率的比值 >100:1 平均功率稳定性 均方差rms <2%
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