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如MEMS陀螺仪应用在汽车上对汽车进行控制，近年随着技术的进步，MEMS陀螺仪芯片已大量用于手机等终端设备中，IEC/TC47/SC47F也制定IEC 62047-20《半导体器件微电子微机械器件第20部分：陀螺仪》标准来规范手机用MEMS陀螺仪芯片的生产与测试；以及IEC 62047-5《半导体器件微电子微机械器件第5部分：RF MEMS开关》用来规范通信设备用射频MEMS开关的参数要求和测试方法...
MEMS 封装不仅仅需要满足传统IC封装的四大功能（机械支撑、环境保护、电连接、散热），还需要考虑信号界面（如光、电、温度、湿度等输入信号）、立体结构（如非平面、腔体、悬梁、薄膜、密封等）、外壳材料（须适应产品的各类应用环境）、特殊芯片钝化（须适应微机电系统的内部环境）、特殊可靠性要求等因素。MEMS 封装可以分为芯片级封装、器件级封装和系统级封装。...
2018年中国MEMS传感器产业链与市场格局分析产业集中度高 MEMS传感器是基于微机电系统的典型传感器件。它是指可以批量制造的，集微结构、微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路于一体的器件或系统，是半导体产业的核心技术之一，也是物联网的重要组成部分。与传统的机械传感器相比，MEMS传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。...
在SOI衬底上采用标准的体微加工工艺制造器件，通过调整激励电流控制器件的动态范围使其保持线性电响应，获得器件品质因子为419. 6、灵敏度为230 mV·T、分辨率为2. 5 μT，功耗为12 mW。该传感器适合应用于非破坏性的磁性测试及铁磁材料缺陷和腐蚀的检测。...
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