ASTM F576-00
用椭圆偏振法测量硅衬底上绝缘体厚度和折射率的标准试验方法

Standard Test Method for Measurement of Insulator Thickness and Refractive Index on Silicon Substrates by Ellipsometry

ASTM F576-00 发布历史

ASTM F576-00由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2001-06-10。

ASTM F576-00在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

ASTM F576-00的历代版本如下：

• 2001年06月10日 ASTM F576-00 用椭圆偏振法测量硅衬底上绝缘体厚度和折射率的标准试验方法
• 2000年 ASTM F576-2000 用椭圆对称法测量硅衬底上绝缘体厚度及折射指数的标准试验方法

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标准号

ASTM F576-00

发布日期

2001年06月10日

实施日期

废止日期

无

国际标准分类号

29.045

发布单位

US-ASTM