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干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。 激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。...
它主要用于测量零部件的尺寸、角度、位置、直线性,也是检定各类数控机床、激光加工机床以及光刻机台的精度,进行误差补偿的基本仪器,更是先进制造业的重器。 据了解,双频激光器是双频激光干涉仪的核心部件。国外干涉仪厂家都是自制专用激光器,称为塞曼双频激光器,但不对外供应。而我国的双频激光干涉仪只能从进口普通激光器进行选择,其国产化困难一直是先进制造业的痛点。 ...
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