测试方法 2005 指定用于表征洁净室和洁净区性能的空气颗粒洁净度指定分类的测试方法 ISO14644-4 设计、建造和启动 2001 指定洁净室安装的设计和构造要求 ISO14644-5 运营 2004 指定洁净室运行的基本要求 ISO14644-7 分离装置(清洁空气罩、手套箱、隔离器和微环境) 2004 ...
级105600008790052800043951000,000级35200000293000176000014650ISO 14644-1:1999洁净室及相关受控环境/第1部分:空气洁净度等级洁净室及洁净区空气洁净度整数等级与传统分级对照表ISO等级N大于或等于关注粒径的粒子最大浓度限值(个/m3)FS 209E传统分级0.1mm0.2mm0.3mm0.5mm1.0mm5.0mmISO 1级102...
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