EBSD采集的硬件部分通常包括一台灵敏的CCD摄像仪和一套用来花样平均化和扣除背底的图象处理系统。图1是EBSD系统的构成及工作原理。 在扫描电子显微镜中得到一张电子背散射衍射花样的基本操作是简单的。相对于入射电子束,样品被高角度倾斜,以便背散射(即衍射)的信号EBSP被充分强化到能被荧光屏接收(在显微镜样品室内),荧光屏与一个CCD相机相连,EBSP能直接或经放大储存图象后在荧光屏上观察到。...
点击上方“材料人” 即可订阅我们电子背散射衍射(EBSD)是在微米及纳米尺度表征晶体材料结构信息的绝佳手段,可以分析晶粒尺寸、晶界、再结晶、应力、相、取向、织构等等。然而安装于扫描电镜上的EBSD究竟可以对多小尺寸的晶粒(或相)进行准确分析呢?10nm,50nm,还是100nm?亦或是与一般扫描电镜的分辨率一样, 15kv下可以达到0.7nm?我们做EBSD时,扫描电镜放大倍数越大分辨率越高吗?...
此外,依据XRD衍射图,利用Schererr公式:(K为Scherrer常数、D为晶粒垂直于晶面方向的平均厚度、B为实测样品衍射峰半高宽度、θ为衍射角、γ为X射线波长,为0.154056nm)K为Scherrer常数,若B为衍射峰的半高宽,则K=0.89;若B为衍射峰的积分高宽,则K=1:;D为晶粒垂直于晶面方向的平均厚度(nm);B为实测样品衍射峰半高宽度(必须进行双线校正和仪器因子校正),在计算的过程中...
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