BS EN ISO 14644-10:2022
洁净室和相关受控环境 第10部分：化学污染表面清洁度评估

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination

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标准号

BS EN ISO 14644-10:2022

发布

2022年

发布单位

英国标准学会

当前最新

BS EN ISO 14644-10:2022

 

 

适用范围

范围 本文件建立了适当的测试流程，以确定洁净室中表面是否存在化学化合物或元素（包括分子、离子、原子和颗粒）的清洁度。 本文件适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面，例如墙壁、天花板、地板、工作表面、工具、设备和装置。 注 1：就本文件而言，仅考虑颗粒的化学特性。 没有考虑颗粒的物理特性，并且本文件没有涵盖污染物和表面之间的相互作用。 注2：本文件不包括污染产生过程或任何与时间相关的影响（例如沉积、沉降、老化）或与过程相关的活动，例如运输和装卸。 它也不包括有关统计质量控制技术的指导，以确保合规性。

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