ISO 14644-10:2022
洁净室和相关受控环境.第10部分:化学污染表面清洁度的评定
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination
- 标准号
- ISO 14644-10:2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 14644-10:2022
- 适用范围
- 本文件建立了适当的测试流程，以确定洁净室表面的清洁度，以确定是否存在化合物或元素（包括分子、离子、原子和颗粒）。 本文件适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面，例如墙壁、天花板、地板、工作表面、工具、设备和装置。 注 1：出于本文件的目的，仅考虑颗粒的化学特性。 没有考虑颗粒的物理特性，并且本文件没有涵盖污染物和表面之间的相互作用。 注2：本文件不包括污染产生过程或任何与时间相关的影响（例如沉积、沉降、老化）或与过程相关的活动（例如运输和装卸）。 它也不包括有关统计质量控制技术的指导，以确保合规性。
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