氢氟碳化物 HFCs 虽然氢氟碳化物排放总量很少，但其对气候的影响可能远比人们所预想的要大。氢氟碳化物虽然不含有破坏地球臭氧层的氯或溴原子，但却是一种极强的温室气体，其对气候变暖的作用远比等量的CO2要强，有的氢氟碳化物的致暖效应要比CO2高几千倍。 全氟化碳 CF4 在全氟化碳物质中，四氟甲烷(又称为四氟化碳)较为常见。四氟甲烷是一种造成温室效应的气体。...
其中CO2的贡献最大，大气中浓度约为300-400ppm，主要来源于工业生产和化石能源的燃烧。CH4的浓度在2ppm左右，主要来源于自然环境和农业生产。氧化亚氮（N₂O）浓度为300-400ppb，主要来源于农业和畜牧业生产以及某些含氮的工业生产。氢氟碳化物（HFCs）、全氟化碳（PFCs）、六氟化硫（SF6）相对含量较低，但温室气体效应却很高，在大气中存留时间更长，同样不容忽视。...
温室气体成分包括二氧化碳（CO2）、甲烷（CH4）、氧化亚氮（N2O）、臭氧（O3）、氟利昂或氯氟烃类化合物（CFCs）、氢代氯氟烃类化合物（HCFCs）、氢氟碳化物（HFCs）、全氟碳化物（PFCs）、六氟化硫（SF6）。 其中CO2、CH4、N2O、和O3是自然界中本来就存在的成分，而CFCs、HCFCs、HFCs、PFCs和SF6则完全是人类活动的产物。...
例如，Process Sense™监视器与基于氟的腔室清洁过程一起使用，以监视来自用于基于硅的沉积过程（包括多晶硅，二氧化硅和氮化硅）的腔室的副产物四氟化硅（SiF4）。传感器实时报告腔室流出物中残留的SiF4含量，从而使用户能够快速检测清洁过程的终点，并避免过度刻蚀腔室组件，这可能导致损坏或其他维护问题。...
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