62047-12-2011
Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (Edition 1.0)
Dispositifs à semiconducteurs – Dispositifs microélectromécaniques – Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (MEMS) (Edition 1.