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此次修订增加了0.01级准确度等级以及相应的技术指标等内容。 电离真空计是真空测量仪器。此次修订发布的电离真空计校准规范适用于测量范围在1×10-9 Pa — 1×102 Pa的电离真空计校准。电离真空计广泛应用于航天、电子、重离子加速器、核聚变、芯片生产等领域,其量值的准确有利于科研的开展和产品质量的提升。 ...
直线路径上的电子作为参考仪器的新型电离真空计来源:PTB新闻 主要适用于以下领域:· 真空技术· 过程技术一种新型的电离真空计解决了目前商用器件稳定性不足的问题,并实现了可预测的灵敏度。这是通过引导电子以直线路径通过电离空间而实现的。新型电离真空计的示意图,模拟电子轨道(红色,上方)和模拟离子轨道(紫色和绿松石色,下方)。没有产生于电离空间(绿松石色)的离子不会被引导到收集器(深蓝色)。...
测量范围:高真空(10-1~10-5帕) 3.冷阴极电离真空计 原理:与热阴极电离真空计一样,是利用低压力下气体分子的电离电流与压力有关的特性,用放电电流做为真空度的测量。不同的是冷阴极电离真空计利用的是真空中的高电压放电现象,也被称为冷规。 ...
2、大部分真空计是间接测量,只有压力为105~lOPa时,可直接测单位面积所受的力。但大多数真空测量的压力远比上述为小,不能直接测量,应利用低压下气体的某些特性(如热传导、粘滞性和电离等)进行间接测量。 3、多采用非电量电测技术。 4、大部分真空计的读数与气体种类和成分有关。所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分.否则会造成很大误差。 5、测量精度不高。 ...
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