GB/T 25755-2010
真空技术.溅射离子泵.性能参数的测量
Vacuum technology.Sputter-ion pumps.Measurement of performance characteristics
GBT25755-2010, GB25755-2010
- 标准号
- GB/T 25755-2010
- 别名
- GBT25755-2010, GB25755-2010
- 发布
- 2010年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 25755-2010
- 引用标准
- GB/T 3163
- 适用范围
- 本标准规定了溅射离子泵（以下简称离子泵）性能参数的测量方法。 本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。 本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10－3 Pa 到 1×10－7 Pa。
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