微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
找不到引用T/BSPT 002-2018 微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法 的标准
他们发明了一种基于聚焦离子束的应变诱导三维纳米结构加工新方法,即利用离子束辐照产生的注入效应以及由入射粒子能量转换与传递产生的温度效应,在纳米材料中产生局域化表面再构、缺陷、晶体结构变化,实现了三维空间诱导的纳米材料形变,以此构建三维功能纳米结构与器件。这种基于聚焦离子束的应变加工方法可兼有高精度、多维度、跨尺度、可设计以及可控等特点。...
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