用波长色散谱仪(或能量色散谱仪)和检测计数系统,测量特征X射线的波长(或能量)和强度,即可鉴别元素的种类和浓度。在不损耗试样的情况下,电子探针通常能分析直径和深度不小于1微米范围内、原子序数4以上的所有元素;但是对原子序数小于12的元素,其灵敏度较差。常规分析的典型检测相对灵敏度为万分之一,在有些情况下可达十万分之一。检测的绝对灵敏度因元素而异,一般为10-14~10-16克。...
EDS能谱仪,是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线。根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析,以及特定区域之point、linescan、mapping分析。...
配有同轴反射电子能量损失谱,可满足对氢元素的定性定量分析;通过X射线荧光光谱仪,可原位的实现样品体相元素成分及表面元素成分分析测试。 数据库:包括完整的XPS和ISS数据库。...
能谱仪的元素分析范围现在也和波谱相同,分析元素范围从铍(Be)——铀(U)。 3. 定量分析准确度高 电子探针是目前微区元素定量分析最准确的仪器。...
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