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成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室,用于放置样品。之所以要用真空,主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。...
二十世纪60年代以来,出现了扫描电子显微镜(SEM)技术,这样使人类观察微小物质的能力发生质的飞跃依靠扫描电子显微镜的高分辨率、良好的景深和简易的操作方法,扫描电子显微镜(SEM)迅速成为一种不可缺少的工具,并且广泛应用于科学研究和工程实践中近年来,随着现代科学技术的不断发展,相继开发了环境扫描电子显微镜(ESEM)、扫描隧道显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等其它一些新的电子显微技术这些技术的出现...
InSEM HT与扫描电子显微镜(SEM)和聚焦离子束(FIB)工作室,或独立的真空工作室兼容。配有的InView软件可帮助高级研究人员开发新的实验。科学出版文献表明,InSEM HT结果与传统的大规模高温测试数据匹配良好。测试温度范围宽以及拥有成本低的特点使InSEM HT成为材料开发研究计划中很有价值的设备。...
之所以要用真空,主要基于以下两点原因: 电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。 为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。 电子束系统 电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。 ...
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