T/QGCML 1126-2023
连续双样品室等离子体清洗装置
Continuous dual sample chamber plasma cleaning device
T/QGCML 1126-2023 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- T/QGCML 1126-2023
- 发布
- 2023年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/QGCML 1126-2023
- 本文件规定了连续双样品室等离子体清洗装置的术语和定义、构成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于连续双样品室等离子体清洗装置的设计、制造和检验。
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