T/QGCML 1126-2023
连续双样品室等离子体清洗装置

Continuous dual sample chamber plasma cleaning device


 

 

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标准号
T/QGCML 1126-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/QGCML 1126-2023
 
 
适用范围
本文件规定了连续双样品室等离子体清洗装置的术语和定义、构成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于连续双样品室等离子体清洗装置的设计、制造和检验。

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