T/JSQA 157-2023
化学机械抛光用垫

Mats for chemical mechanical polishing

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 T/JSQA 157-2023 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，
点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

标准号

T/JSQA 157-2023

发布

2023年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/JSQA 157-2023

 

 

适用范围

本标准规定了化学机械抛光垫的术语和定义、分类和命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 技术要求规定了正常生产、检验和使用环境条件、外观质量、产品性能。外观质量包括外来脏污。其中，厚度、幅宽的极限偏差的技术指标高于国家标准GB/T 8949—2008《聚氨酯干法人造革》，克重、密度、压缩率、压缩弹性率、硬度、开口径填补了国家标准GB/T 8949—2008《聚氨酯干法人造革》的空白。

T/JSQA 157-2023相似标准

T/JSQA 157-2023 中可能用到的仪器设备