SJ 21127-2016
化学机械抛光机通用规范

General specification for chemical mechanical polishing equipment

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标准号

SJ 21127-2016

发布

2016年

发布单位

行业标准-电子

当前最新

SJ 21127-2016

 

 

引用标准

GB 2894-2008 GB/T 4025-2003 GB/T 6621-1995 GJB 1210-1991 GJB 151A-1997 GJB 152A-1997 GJB 1653-1993 GJB 1765A-2008

适用范围

本规范规定了化学机械抛光机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。 本规范适用于微组装薄膜工艺和硅晶圆的抛光工艺中的化学机械抛光机的设计、生产、检验、验收和订购，其他微组装制造工艺设备或其他行业的类似设备也可参照执行。

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