T/CASMES 125-2022
晶圆减薄划片技术规范

Wafer grinding and sawing technical specifications


 

 

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标准号
T/CASMES 125-2022
发布
2022年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CASMES 125-2022
 
 
适用范围
本文件规定了晶圆减薄划片技术的基本要求、工艺、质量要求、维护及安全。 本文件适用于指导晶圆减薄划片,也可供生产企业在晶圆制造过程中应用减薄、划片技术时参照执行。

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