T/ICMTIA TG0036-2023
集成电路用高纯铝钪合金靶材


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标准号
T/ICMTIA TG0036-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ICMTIA TG0036-2023
 
 
本文件规定了集成电路用高纯铝钪合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)等内容。 本文件适用于集成电路制造用高纯铝钪合金靶材,以下简称铝钪合金靶。

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